上海微系統所在高速數據傳輸能力的異質集成薄膜鈮酸鋰電光調製器方面取得進展

8月14日，據中國科學院上海微系統所消息，近日，中國科學院上海微系統與信息技術研究所蔡豔研究員團隊與歐欣研究員團隊合作，通過“萬能離子刀”剝離轉移技術在六吋圖形化SiN晶圓上集成了高質量的鈮酸鋰薄膜，並通過晶圓級工藝製備出具備高速數據傳輸能力的異質集成薄膜鈮酸鋰電光調製器。在該異質集成方案中，氮化硅與薄膜鈮酸鋰形成混合波導，鈮酸鋰薄膜無需刻蝕加工，簡化了工藝流程。