上海集成電路裝備材料產業創新中心取得減少研磨液粒子聚集控制裝置及研磨液供應系統專利，保證研磨質量的穩定性

金融界2025年2月15日消息，國家知識產權局信息顯示，上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司取得一項名爲“一種減少研磨液粒子聚集的控制裝置及研磨液供應系統”的專利，授權公告號CN 222472065 U，申請日期爲2024年5月。

專利摘要顯示，本實用新型公開了一種減少研磨液粒子聚集的控制裝置及研磨液供應系統，包括：設於過濾器之前的研磨液輸送管道中的攪拌模塊，所述攪拌模塊用於受控對流經的研磨液進行攪拌，以通過施加的攪拌力，使研磨液中的研磨粒子處於均勻分散的狀態，以改變研磨液中研磨粒子的微觀狀態，進而控制研磨液整體的宏觀性能，使研磨液在進入研磨設備前保持較好的均勻性，以保證研磨質量的穩定性。本實用新型能實現對管路中研磨液粒子狀態的有效控制，並獲得更高的研磨效率。

天眼查資料顯示，上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司，成立於2020年，位於上海市，是一家以從事軟件和信息技術服務業爲主的企業。企業註冊資本1150000萬人民幣。通過天眼查大數據分析，上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司參與招投標項目64次，知識產權方面有商標信息14條，專利信息411條，此外企業還擁有行政許可201個。

本文源自：金融界

作者：情報員