明明領先為何不先用？ 盤點臺積電不急上最新 EUV 的三個原因

臺積電。路透

艾司摩爾大客戶臺積電（2330）是全球率先將極紫外光微影（EUV）設備導入7奈米商用量產的大廠，去年已擁有高數值孔徑極紫外光微影（High-NA EUV）設備，主要是研發用途，尚不急着用艾司摩爾High-NA EUV設備生產，臺積電業務開發資深副總經理暨副共同營運長張曉強去年曾表示，「喜歡High-NA EUV的能力，但不喜歡標價」，相關談話外界解讀嫌貴，近期他再提到臺積電不急着在埃米制程的A14採用，再度成爲話題，本報記者盤點業界看法，探討臺積電不急着用最新EUV背後的考量。

是否使用最新 EUV？ 三個考量點

首先是安裝規模，外界預期，臺積電在成本與客戶需求多的因素考量下，可持續改進既有設備用於埃米制程。