邁向低碳淨零...清大推動光電半導體製程 研發出創新技術

「雷射低碳製造技術」透過耦合雷射與高活性的離子反應流體，可以在常壓常溫下以一道工序就完成圖樣化鍍膜，製作出精細多樣的金屬及光電材料線路。圖／清大提供

國立清華大學團隊推動光電半導體制程有了重大突破！清大動力機械工程學系教授李明蒼團隊與臺大及國儀中心合作，研發出可在常溫常壓下直接在曲面鍍膜的創新技術。因整合了多道工序，未來可以大幅縮短製程、降低材料成本，還能有效減少能源消耗與碳排放，爲半導體先進製造邁向低碳淨零注入新動能。

清大指出，該團隊核心成員包括動機系教授李明蒼、副教授劉俊葳、曹哲之與資工系教授丁川康，他們的創新研究揭示了綠色半導體制程的未來。

李明蒼指出，「雷射低碳製造技術」透過耦合雷射與高活性的離子反應流體，可以在常壓常溫下以一道工序就完成圖樣化鍍膜，製作出精細多樣的金屬及光電材料線路。

李明蒼也分享自己當年赴美研究雷射燒結（將奈米顆粒燒成立體結構），光是準備奈米材料就要3個人不眠不休地輪班，「如今這項新技術能夠立體堆疊出微米級的金屬材質，就像3D列印，一次成形！」衍生出的「透明導電薄膜」則運用雷射電漿技術，把透明可導電的材質液態「霧化」，再「定」到基板上堆疊；也做到異質整合，將金屬線路鍍在玻璃上。

參與這項研究的動機系博士生黃毓勳說明，新技術雖然無法取代成熟製程的量產型機臺，但優勢是客製化程度高。李明蒼教授也透露，目前已有國內半導體大廠接洽。團隊未來將研發目標鎖定在打造「皮膚上的電子元件」，除了可以應用在精準醫療，還有可能讓科幻電影中的透明顯示裝置、溫控光學鏡片成爲真實。

這項研究獲國科會長期支持，研究團隊包括清大、臺大及國儀中心等單位。左起爲國儀中心研究員蕭文澤、臺大教授莊嘉揚、國科會工程處長洪樂文、清大動機系教授李明蒼、資工系教授丁川康、動機系副教授劉俊葳。圖／清大提供

清大動機系教授李明蒼團隊與臺大與國儀中心合作，研發出可在常溫常壓下直接在曲面鍍膜的創新技術。圖／清大提供

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