隆基綠能申請PECVD鍍膜系統及鍍膜工藝專利，解決現有鍍膜方式質量和均勻性低的問題

金融界2025年4月19日消息，國家知識產權局信息顯示，隆基綠能科技股份有限公司申請一項名爲“12410.一種PECVD鍍膜系統及鍍膜工藝”的專利，公開號CN119800329A，申請日期爲2025年1月。

專利摘要顯示，本申請提出了一種PECVD鍍膜系統，包括第一沉積腔，用於放置裝載有硅片的石墨舟；石墨舟包括沿着第一方向依次排列設置的多個舟片，舟片的表面與第二方向平行，硅片沿第二方向依次裝載於相鄰舟片之間；第一方向和第二方向相交；第一沉積腔還設置有進氣件、加熱件及電極；其中，工藝特氣經進氣件沿第二方向吹向石墨舟內裝載的硅片；加熱件設置於進氣件和石墨舟之間，用於對吹向硅片的工藝特氣提供熱量；電極與石墨舟電連接，對工藝特氣進行電解離，以產生等離子體。本申請提供了一種PECVD鍍膜系統及PECVD鍍膜工藝，以解決現有鍍膜方式的鍍膜質量和均勻性較低的問題。

天眼查資料顯示，隆基綠能科技股份有限公司，成立於2000年，位於西安市，是一家以從事批發業爲主的企業。企業註冊資本757804.4598萬人民幣。通過天眼查大數據分析，隆基綠能科技股份有限公司共對外投資了35家企業，參與招投標項目320次，財產線索方面有商標信息201條，專利信息1896條，此外企業還擁有行政許可54個。

本文源自：金融界

作者：情報員