兩部門：聚焦集成電路核心計量技術支撐 重點攻克扁平化量值傳遞等技術難題

【兩部門：聚焦集成電路核心計量技術支撐 重點攻克扁平化量值傳遞等技術難題】財聯社7月9日電，市場監管總局、工業和信息化部印發《計量支撐產業新質生產力發展行動方案（2025—2030年）》，面向集成電路產業發展需求，聚焦集成電路核心計量技術支撐，重點攻克扁平化量值傳遞等技術難題，突破晶圓級缺陷顆粒計量測試、集成電路參數標準芯片化、3D等先進封裝標準物質研製和12英寸晶圓級標準物質研製瓶頸，佈局新型原子尺度計量裝置、標準和方法創新，圍繞幾何量、光學、熱學、電學等關鍵參量，突破晶圓溫度、真空、氣體檢測和微振動等集成電路計量技術，研究集成電路關鍵工藝參數在線計量方法，開展計量測試評價，形成服務集成電路的計量體系。