凱斯科技申請調整用於清洗晶圓的刷子傾斜度的方法及裝置專利，可推斷刷子傾斜度

金融界2025年8月9日消息，國家知識產權局信息顯示，凱斯科技股份有限公司申請一項名爲“調整用於清洗晶圓的刷子的傾斜度的刷子傾斜度調整方法及裝置”的專利，公開號CN120438305A，申請日期爲2025年02月。

專利摘要顯示，刷子傾斜度調整裝置包括：晶圓清洗部，其利用刷子清洗晶圓；傳感器部，其包括安裝於刷子周邊的加速度傳感器及馬達扭矩傳感器；刷子位置調整部，其包括在刷子的兩側沿垂直方向調整刷子的位置的位置調整馬達；以及處理部，其對刷子兩側各自的位置值進行檢測，並且推斷刷子的傾斜度，刷子位置調整部可基於推斷出的刷子的傾斜度及位置值中的至少一個，調整刷子的位置。

本文源自：金融界

作者：情報員