晶盛光子取得爐門裝置及擴散爐設備專利,提高擴散爐設備的可靠性

金融界2025年2月3日消息,國家知識產權局信息顯示,浙江晶盛光子科技有限公司取得一項名爲“爐門裝置及擴散爐設備”的專利,授權公告號 CN 222418555 U,申請日期爲 2024年5月。

專利摘要顯示,本實用新型屬於半導體加工技術領域,公開了爐門裝置及擴散爐設備,爐門裝置包括能夠封閉爐口的爐門組件、驅動組件和防護組件,爐門組件連接於驅動組件的輸出端,驅動組件包括第一驅動機構和第二驅動機構,第一驅動機構用於驅動爐門組件沿第一方向往復移動,第二驅動機構用於驅動爐門組件沿第二方向往復移動,以使爐門組件具有封閉爐口的關閉狀態和遠離爐口的打開狀態;防護組件隨爐門組件移動,當爐門組件處於打開狀態,防護組件遮擋第一驅動機構和/或第二驅動機構,當爐門組件處於關閉狀態,防護組件遠離第一驅動機構和/或第二驅動機構。本實用新型的爐門裝置能夠對驅動組件形成有效防護且便於進行定期檢查、維修,提高擴散爐設備的可靠性。

天眼查資料顯示,浙江晶盛光子科技有限公司,成立於2023年,位於杭州市,是一家以從事軟件和信息技術服務業爲主的企業。企業註冊資本5000萬人民幣,實繳資本500萬人民幣。通過天眼查大數據分析,浙江晶盛光子科技有限公司專利信息80條。

本文源自:金融界

作者:情報員