解決「卡脖子」問題 復旦大學設光阻劑材料研究中心

解決材料「卡脖子」問題，復旦大學成立「先進光阻劑材料教育部工程研究中心」。（圖／取自復旦大學微電子學院官網）

爲了突破高階光刻膠（臺稱「光阻劑」）材料的「卡脖子」技術難題，推動大陸積體電路產業邁向全球價值鏈高階，「復旦大學先進光阻劑材料教育部工程研究中心」於日前揭牌成立。

復旦大學副校長姜育剛表示，希望中心聚焦光阻劑材料「從實驗室到生產線」的工程化難題，加速大陸國產高階光阻劑的自主可控進程，爲大陸晶片製造企業提供穩定可靠的工藝技術與材料研究支持。

根據復旦大學微電子學院官網發佈的消息，該中心的成立是復旦大學服務大陸國家重大戰略需求、推動產學研深度融合的重要舉措。

姜育剛指出，復旦大學整合校內積體電路、化學、高分子、材料等多學科優勢力量，成立這一研究中心，是學校在「育強國打頭陣，自主創新當尖兵」使命下的重要實踐。

光阻劑作爲晶片製造的核心材料，技術水準直接決定了積體電路的製造工藝精度和產業競爭力。

目前全球光阻劑市場長期由JSR、東京應化、信越化學和住友化學等美日企業佔據主導地位。尤其在高階半導體光阻劑市場上，日本企業更佔據着約80%的壓倒性市佔。

隨着近年來半導體產業規模擴大，中國大陸對光阻劑需求也出現驚人增長。儘管在國產化浪潮替代及企業技術創新推動下，大陸光阻劑膠產業已取得顯著進步，但因起步較晚，大陸在光阻劑領域的產品還集中在中低階市場，在高階市場尚處於追趕階段。