江蘇魯汶儀器申請聚焦離子束擋板機構及刻蝕設備專利，防止反濺射粒子污染聚焦離子源

金融界2025年7月2日消息，國家知識產權局信息顯示，江蘇魯汶儀器股份有限公司申請一項名爲“一種聚焦離子束擋板機構及刻蝕設備”的專利，公開號CN120236969A，申請日期爲2023年12月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種聚焦離子束擋板機構及刻蝕設備，聚焦離子束擋板機構包括：連接支架，連接支架安裝在刻蝕設備的反應腔內；安裝在連接支架上的擋板，擋板設置在刻蝕設備的工件載臺及聚焦離子源之間，且擋板上開設有允許聚焦離子源發出的聚焦離子束穿過的孔洞；工件放置在工件載臺上，擋板用於阻擋聚焦離子束作用在工件上時產生的反濺射粒子。當刻蝕設備工作時，聚焦離子源發出的聚焦離子束能夠穿過聚焦離子束擋板機構的擋板上的孔洞，並作用於工件載臺上裝載的工件上。由於擋板位於工件載臺及聚焦離子源之間，因此，能夠阻擋聚焦離子束作用在工件上時產生的反濺射粒子，從而防止反濺射粒子污染聚焦離子源。

天眼查資料顯示，江蘇魯汶儀器股份有限公司，成立於2015年，位於徐州市，是一家以從事專用設備製造業爲主的企業。企業註冊資本16631.8311萬人民幣。通過天眼查大數據分析，江蘇魯汶儀器股份有限公司共對外投資了3家企業，參與招投標項目232次，財產線索方面有商標信息31條，專利信息433條，此外企業還擁有行政許可14個。

本文源自：金融界

作者：情報員