和光同程光伏申請Poly摻氮方法及TOPCon電池專利，提高TOPCon電池轉換效率

金融界2025年6月3日消息，國家知識產權局信息顯示，和光同程光伏科技（宜賓）有限公司;四川和光同程光伏科技有限公司申請一項名爲“Poly摻氮方法及TOPCon電池”的專利，公開號CN120076465A，申請日期爲2025年03月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種Poly摻氮方法及TOPCon電池，TOPCon電池包括背面Poly結構，本方法包括：S1、將電池片插入石墨舟後送入PECVD爐管，並進行反應準備；S2、向爐管中通入一氧化二氮，在所述電池片的背面進行氧化形成第一隧穿氧化層；S3、向爐管中通入硅烷、氨氣、氫氣和磷烷進行沉積，在所述第一隧穿氧化層上形成第一非晶硅層；S4、向爐管中通入一氧化二氮進行氧化，在所述第一非晶硅層上形成第二隧穿氧化層；S5、向爐管中通入硅烷、氫氣及磷烷進行沉積，在所述第二隧穿氧化層上形成第二非晶硅層；S6、進行高溫退火和破真空處理，完成背面Poly結構的製備。本發明通過優化Poly摻氮工藝參數並結合Poly雙隧穿工藝，向爐管中通入氨氣，製備背面Poly結構，以提高TOPCon電池轉換效率。

本文源自：金融界

作者：情報員