超400筆投資，VC跨越山海關
在海光信息發起對中科曙光的收購之後，一筆31億的“A吃A”併購，又在市場中激起波瀾——6月24日，北方華創宣佈已經成爲芯源微第一大股東，並取得芯源微的控制權。
早在今年3月，北方華創就與芯源微的兩大股東——瀋陽先進製造技術產業有限公司、瀋陽中科天盛自動化技術有限公司，簽署了股份轉讓協議，受讓二者持有的1906.4915萬股、1689.975萬股股份。
兩次交易金額分別爲16.87億元和14.48億元，北方華創合計耗資31.35億元拿下了17.87%的股權（3596.47萬股股份），正式入主芯源微。
這筆交易能夠引起市場關注，與雙方的市場地位不無關係。北方華創不必多說了，它是我國半導體設備龍頭，市值達2300多億。2024年公司創下了業績新高：營收近300億元，同比增長35.14%，淨利潤56.21億元，同比增長44.17%。一舉奪得全球半導體設備廠商第六的名次，也是唯一進入前十的中國廠商。
相比而言，芯源微就要低調得多。雖然只有200億市值，但它卻是國內唯一可提供量產型中高端塗膠顯影設備的企業，也是單片式溼法設備龍頭公司。
這兩家公司聯姻，可以在產品、研發和供應鏈等多個領域發揮乘數效應。不僅提升企業競爭力，也提升我國半導體設備的整體實力。於企業、於股東、於產業都是一件共贏的事。
不過在交易之外，被稱爲“遼寧省科創板第一股”的芯源微還有兩處細節引起了我們關注：
第一，芯源微大股東“中科天盛”，是中科院瀋陽自動化研究所100%控股的公司。沈自所不僅創立了芯源微，更是遼寧省多家上市公司和科技企業的發起人，堪稱遼寧科創的搖籃之一。
第二，遼寧省的國資機構對芯源微一直鼎力支持，而且有機構在這一項目上賺到約40倍收益，是東北地區科創孵化的經典案例之一。
——這兩條線索，爲我們打開了瞭解遼寧科創生態的窗口。
數據顯示，2020年-2025年上半年，遼寧一共發生了418筆投資事件，融資總額約1900億元。而且在2020年之後，遼寧省企業獲投事件數量逐漸增加。國家大基金二期、北京集成電路併購基金、深創投、華映資本等都紛紛奔赴遼寧下注投資。
而這“投資越過山海關”的新局面，正是遼寧省的科研中心、先進製造產業集羣和不斷壯大的國資基金體系共同推動的。
芯源微的故事：科研機構聯手國資
故事還是從芯源微講起。
2000年初，我國半導體裝備產業還是一片空白。服務於國家重大戰略的中科院瀋陽自動化研究所（簡稱“沈自所”）決定進入這一領域，突破卡脖子問題。當時沈自所受限於匱乏的技術積累，採取了引進韓國技術，快速切入半導體裝備領域的做法。於是在2002年，聯合韓國STL公司，以中方持股71.43%，韓方持股28.57%的模式，共同設立了芯源微。
執掌芯源微23年的董事長宗潤福就是沈自所的科研人員。1988年，宗潤福在哈工大碩士畢業後到沈自所就職，歷任研究員、室主任、科技處長。2002年12月他作爲自動化所的投資方代表，擔任芯源微董事長、總經理。
在早期，芯源微的發展是建立在沈自所的鼎力支持上的。
一方面是沈自所持續不斷地提供科研支持。芯源微纔在其幫助下，於2005年突破8英寸凸點封裝設備技術，2007年推出國內首臺12英寸先進封裝塗膠顯影機，打破日本東京電子（TEL）壟斷，逐步在LED和封裝領域打開市場。
另一方面，沈自所利用中科院的資源推動芯源微承擔了多項國家重大科技專項。比如，2008 年芯源微獲批承擔國家“十一五”《極大規模集成電路製造裝備及成套工藝》專項中的“凸點封裝塗膠顯影、單片溼法刻蝕設備的開發與產業化”項目。這是該重大專項支持的唯一家國產塗膠顯影設備企業，爲芯源微成爲全國中高端塗膠顯影設備龍頭奠定了基礎。
放在當時，承接科研項目更現實的意義在於，芯源微由此獲得了大量的研發經費和補助。這讓芯源微順利度過了入不敷出的創業階段。
宗潤福在一次演講中就回憶說，“2003年到2009年企業年均獲得政府各類科技項目經費、人才項目補助約400萬元，2010年到2012年，由於承擔國家科技重大專項，年均獲政府項目撥款約3000萬元。”這些支持“緩解企業資金壓力，解決了企業研發經費不足、自我供血能力不足的問題。”
可見沒有沈自所的強力支持，從0到1的芯源微要在殘酷的市場中存活下來會異常艱難。
而且沈自所將自身定位爲企業的“推動者”，而非“主導者”。在2013年芯源微扭虧爲盈後，沈自所逐步降低持股比例，退居幕後，讓芯源微以更市場化的方式發展。
2018 年，芯源微出廠驗證第一臺前道塗膠顯影機，成功切入前道市場，正式成爲半導體領域的核心裝備供應商。2019年又成爲遼寧省第一家科創板上市公司。
這次北方華創的完成收購，入主芯源微，意味着這家23年的遼寧企業進入一個新階段。而當初沈自所爲了解決半導體重要設備卡脖子的問題，推動科技成果轉化的目的也早已經完成。
在沈自所的加持下，芯源微先後吸引了不少國有投資機構注資。
公開資料顯示，2007年，遼寧科發實業參與了芯源微的A輪融資，是除沈自所外最早的投資人之一。這家公司實控人爲遼寧省國資委，是遼寧國資體系下的投資平臺。在2007年出資後，科發實業一路陪伴，到目前依然持有10.59%的股份，是僅次於北方華創的第二大股東。
除了科發實業外，遼寧最早的風險投資機構——瀋陽科技風投也是芯源微的重要投資人。據和君集團對芯源微的研究報告披露，2015年，國科投資、國科瑞祺、瀋陽科投、國科正道四家機構向芯源微投資4296萬元，其中，瀋陽科技風投出資了500萬元。
目前工商信息顯示，瀋陽科技風投已經實現退出。官方並未披露這筆投資到底賺了多少錢。但根據和君諮詢估算，投資時企業估值約1.93億元，到2021年末“瀋陽科投持有的這部分股份市值約2.5億元，六年時間增值達50倍。”
盛京金控的公衆號文章部分印證了上述推斷，它寫道“（科技風投）投資的芯源微、拓荊科技實現國有資本增值30-40倍。”不論是30倍，還是40倍，亦或50倍，這筆投資的收益肯定非常可觀。它應該是東北地區國資機構投資退出的重要案例了。
向先進製造業躍遷的產業生態
芯源微的故事只是遼寧創投生態的一節片段。在片段之外，還有更難廣闊的全景圖。
先回到沈自所。1972年，時任沈自所所長的蔣新鬆院士，起草了一份“關於人工智能及機器人”的報告呈給中國科學院。後來這份報告推動機器人研究被列入《1978—1985年全國科學技術發展規劃綱要》。在他的帶領下，沈自所研發了示教再現工業機器人，標誌着國工業機器人事業的開端。
1987年，中國科學院、國家科委在沈自所設立“863”計劃智能機器人辦公室。之後，沈自所便成爲了我國工業機器人的搖籃。
這段科研故事在上世紀90年代末期開始向產業端演化。
2000年，沈自所以蔣新鬆院士的名字命名，成立了新鬆機器人，是我國最早從事工業機器人研發的企業。它率先推出全國首臺真空潔淨機器人、首套汽車合裝移動機器人等產品，快速打破了國外企業的壟斷。
2009年，新鬆機器人在創業板順利上市，創造了“遼寧創業板第一股”的傳奇。目前這家公司的產品已銷往40多個國家和地區，其工業機器人不僅服務於通用、福特等國際巨頭，在新加坡港口等全球樞紐中也運行着大量新鬆移動機器人。
除了芯源微和新鬆機器人，沈自所先後參與設立10餘家科技公司。
2000年，推動成立了製氧機等醫療器械研發公司新鬆醫療；2003年，創立工業物聯網公司中科博微；2013年創立了物聯網設備公司中科奧維；2017年成立瀋陽智能機器人研究院；2018年創立商業航天公司中科新宇空間智能裝備公司……說它是遼寧科技創新的搖籃，實至名歸。
而且這些企業不斷壯大，還吸引了一大批產業鏈的公司向遼寧聚集。
比如芯源微上市之後，神工股份、拓荊科技、富創精密、連城數控這4家半導體設備公司陸續上市，讓遼寧的半導體設備產業初具規模。新鬆機器人則吸引了現代輔機、四達高技術、光洋科技、瀋陽通用機器人等一批配套企業落地，讓遼寧成爲機器人產業高地。
最近兩年，半導體裝備和機器人產業已經是遼寧產業轉型升級、新舊動能轉換的標杆產業了。瀋陽機器人與裝備製造集羣，也成爲了遼寧省第一個國家級產業集羣。
值得一提的是，在遼寧有衆多像沈自所這樣的科研中心。中國科學院瀋陽分院在遼寧就有大連化學物理研究所、金屬研究所、瀋陽應用生態研究所、瀋陽自動化研究所等4個研究所，以及瀋陽計算技術研究所有限公司、中科儀等2個整體轉制公司。軍工航天領域，在瀋陽還有601所、606所、通航研究院等骨幹研發機構。而且遼寧省還在持續擴大科研機構的建設，2024年遼寧圍繞重點產業新建了20個重點實驗室羣，聚焦未來產業組建9家省基礎科學中心，實施研究項目880個。
另外，遼寧省擁有雄厚的製造業基礎。特別是裝備製造、航天軍工、石油化工等領域在全國執牛耳。去年遼寧新增加三個國家級先進製造業產業集羣，分別是“瀋陽航空集羣”，以瀋陽和大連兩座城市爲核心的“沈大工業母機集羣”，以大連和盤錦爲核心的“大盤綠色石化集羣”。它們標誌着“共和國長子"正從傳統制造業向先進製造業躍遷。
這一過程必然帶來大量創新創業的機會。2025年遼寧省政府工作報告中就披露了一組數據:2024年遼寧新增科技型中小企業6206家、高新技術企業1625家、“雛鷹”“瞪羚"企業940家，融科儲能、東軟睿馳兩家企業新晉爲獨角獸企業。
所以，以科研中心爲代表的創新策源地，和以產業集羣爲代表的土壤生態，共同爲遼寧科創企業提供了生長環境。
超400筆投資，全國VC投向遼寧
這些企業的誕生與崛起，自然也少不了資本助力。正如瀋陽科技風投支持芯源微一樣，遼寧的國資機構，對當地創投生態提供了重要的“燃料”。
先看市一級的機構。瀋陽、大連是遼寧創投最活躍的兩座城市。就以瀋陽爲例，2017年，瀋陽設立了瀋陽盛京金控投資集團，股權投資就是主要的業務板塊之一。據官方網站披露的數據，盛京金控已經構建了“市投資基金、天使基金、市場化基金”三支百億規模的母基金。通過這三支百億母基金和自有資金，累計投資了230餘個項目，投資總額220餘億。
瀋陽科技風投就是盛京金控旗下單位。它管理着天使投資母基金，是當地早期投資的重要推手。在今年上半年，華德海泰電器、恆久安泰、康奉堡等多家企業都獲得瀋陽科技風投的支持。
100億元的瀋陽市投資基金，則由盛京資本負責運營管理。官方信息顯示，截至目前，市投資基金已累計開展基金項目20餘個，項目總規模120餘億元。
100億元的市場化母基金（盛京投資基金）由恆信安泰負責運營管理，目前已受託和發起的母子基金總規模超百億，母子基金投資規模數十億，母子基金投資和招引項目超100個。
再看省一級。2021年12月，遼寧金控集團設立了遼寧基金投資公司。隨後經過1年的籌備，在2022年11月官宣發佈了規模200億元的遼寧產業投資基金。該基金被視爲助力遼寧振興發展的資本引擎。
不完全統計，遼寧基金已經出資了26支子基金。引起市場轟動的是去年9月份，官宣與招商局集團、中國誠通、中國國新、光大控股四家央企，合作設立的4支產業投資基金，總規模達100億元。當時遼寧基金對外披露說，這四隻產業基金的投資方向，涵蓋全省4個萬億級產業基地和22個重點產業集羣。標誌着遼寧央地合作母、子基金產業化協同投資集羣初步形成。
上述省市級國資基金體系，大大推動了遼寧科創投資。
據CVSource投中數據顯示，2020年-2025年上半年，遼寧一共發生了418筆投資事件，融資總額近1900億元。而且在2020年之後，遼寧省企業獲投事件數量逐漸增加。2020年遼寧有71筆股權投資，2022年有75筆，2023年有82筆，2024年有86筆。這種上升趨勢在2025年還在延續。
而且外地資本投向遼寧省項目的案例也在增多。有兩個案例讓我印象深刻。
一個是新鬆機器人旗下的新鬆半導體。這家公司成立於2023年，專注於半導體晶圓傳輸專用設備的研發。去年公司完成第一輪融資，吸引了北京集成電路併購基金、國家大基金二期、上海金浦投資、中微半導體、瀋陽市科技成果轉化基金等機構的投資。是遼寧半導體設備領域的一顆新星。
另一家是國瑞新材。這家公司不在瀋陽也不在大連，而是位於撫順市新賓滿族自治縣。你很難想象一羣知名投資機構，到東北如此偏遠的縣城去投資。但是這一幕確實發生了——深創投、華映資本、國泰君安創新投、衆行資本、梧桐樹資本等機構，在今年5月份披露了對這家公司的投資。
後來我查閱了這家公司的產品和業務情況，就不再感到意外了：它生產的等靜壓石墨，已經累計向上百家光伏客戶完成產品銷售，產品直接或間接被隆基、中環、晶澳、協鑫等國內光伏龍頭企業使用。而且還實現了“卡脖子”材料核純級石墨技術突破，推動了核電領域高溫氣冷堆產業鏈的自主可控。目前公司已經通過中核集團產品驗證，成爲其核心供應商。
不論是新鬆半導體還是國瑞新材，都代表了遼寧科創的新勢力。“投資不過山海關”的偏見，可能即將被遼寧蓬勃的創投生態打破。
參考資料：
盛京金控，科技風投再結投資碩果 彰顯國資擔當。
瀋陽和君，瀋陽芯源微（688037）市值管理分析。
芯源微官方網站。