北方華創申請流量檢測相關專利，解決半導體清洗工藝中流量難以檢測問題

金融界2025年4月26日消息，國家知識產權局信息顯示，北京北方華創微電子裝備有限公司申請一項名爲“流量檢測方法、流體泵及槽式半導體清洗設備”的專利，公開號CN119860822A，申請日期爲2025年1月。

專利摘要顯示，本發明公開一種流量檢測方法、流體泵及槽式半導體清洗設備，其中，流量檢測方法應用於流體泵，流體泵包括泵殼以及設於泵殼內的兩個可變容積腔室和閥門裝置；泵殼具有出口和進口；兩個可變容積腔室通過閥門裝置均與出口和進口連通；兩個可變容積腔室交替變換容積，其中一者容積變大以使得流體通過進口進入的同時，另一者容積變小以通過出口排出其容納的流體；所述的流量檢測方法包括：檢測兩個可變容積腔室經歷一次容積變化的時長；根據可變容積腔室充滿流體時的體積以及經歷一次容積變化的時長計算流體的流量。此方案能解決背景技術中所述的半導體清洗工藝的清洗液在配置過程中產生較多的氣泡而導致超聲波流量計無法對流量進行檢測的問題。

天眼查資料顯示，北京北方華創微電子裝備有限公司，成立於2001年，位於北京市，是一家以從事電氣機械和器材製造業爲主的企業。企業註冊資本114153.708311萬人民幣。通過天眼查大數據分析，北京北方華創微電子裝備有限公司共對外投資了7家企業，參與招投標項目1021次，財產線索方面有商標信息45條，專利信息5000條，此外企業還擁有行政許可340個。

本文源自：金融界

作者：情報員