ASML部分設備銷陸喊卡

因應美方要求，荷蘭半導體制造設備供應商艾司摩爾宣佈，取消部分深紫外光（DUV）設備出口大陸。（路透）

全球半導體顯影設備龍頭艾司摩爾（ＡＳＭＬ）應拜登政府要求，宣佈提前取消部分深紫外光（ＤＵＶ）設備出貨中國大陸。這意味二○二四年開年，美就對大陸科技業開砲，再度點燃美中科技戰戰火，重挫陸企想靠ＤＵＶ設備延伸先進製程的計劃，不過，臺積電、聯電等臺廠大陸廠區取得機臺可望不受影響。

華爲先前宣稱旗下海思自行開發的「麒麟 9000s」手機晶片採用中芯七奈米打造，讓華爲迴歸５Ｇ手機市場，中芯在未能取得最先進的極紫外光（ＥＵＶ）設備下，竟能代工生產七奈米晶片，引發美方高度關切。業界當時研判，中芯是以ＤＵＶ設備、不計成本完成原被外界視爲「不可能的任務」。

如今，艾司摩爾取消部分ＤＵＶ設備出貨大陸，業界解讀爲美方爲防堵先前管制措施可能的漏洞，斷絕大陸晶圓製造持續向前之路。一般預料，美方再度出招，勢必重挫中芯等大陸晶圓代工廠想靠ＤＵＶ設備延伸先進製程的計劃，全球先進製程仍將由臺灣台積電、南韓三星、美國英特爾等廠商主導，並且由臺積電獨領風騷。

彭博資訊報導，在荷蘭限制高階晶片製造設備出口的新禁令元月全面生效之前，艾司摩爾已應拜登政府要求，取消部分設備出貨大陸。

知情人士透露，美國國安顧問蘇利文去年底曾針對此事致電荷蘭政府，荷蘭官員要美國直接聯繫艾司摩爾，商討ＤＵＶ設備出貨事宜。在美國提出要求後，艾司摩爾售價達數千萬美元的設備被取消出貨大陸，但總量不明。

艾司摩爾取消銷售大陸的ＤＵＶ設備，包括「NXT:2050i」及「NXT:2100i」兩種型號，都是艾司摩爾主力ＤＵＶ設備產品。艾司摩爾昨表示，新措施會對衝擊少數大陸客戶，但不會對該公司去年財務前景產生重大影響。

大陸外交部發言人汪文斌昨在大陸外交部例行記者會指出，美方有關霸道、霸凌行徑，嚴重違背國際貿易規則，嚴重破壞全球半導體產業格局，必將自食其果。中方敦促荷方秉持客觀公正立場和市場原則，以實際行動維護兩國和雙方企業的共同利益。中方將密切關注有關動向，堅決維護自身合法權益。

值得注意的是，爲因應美國的科技封鎖，大陸去年已大量囤積半導體設備。大陸科技媒體「芯智訊」報導，大陸海關數據顯示，大陸去年十月從荷蘭進口廿一臺顯影設備；去年十一月又進口四十二臺顯影設備，其中十六臺來自荷蘭。