ASML：3D整合將成爲2D收縮日益重要的補充技術

《科創板日報》5日訊，在阿斯麥（ASML）今日發佈的主題爲“攜手推進技術向新”的2024年度報告中，首席執行官克里斯托弗·福凱（Christophe Fouquet）表示：“如果我展望ASML的未來增長，光刻技術無疑仍然是摩爾定律的主要驅動力之一，我們相信這一點在未來許多年裡依然成立。與此同時，正如我們幾年前就意識到的，二維收縮（2D shrink）正變得越來越困難。這並不完全是由於光刻技術的侷限性，而是因爲我們幾乎達到了邏輯和存儲器客戶所使用的晶體管的極限。爲了繼續在二維收縮方面取得進展，我們需要在架構和器件上進行創新。這意味着需要進行三維前道整合（3D front-end integration），而這將爲我們帶來增長機會——因爲三維整合技術依賴於鍵合（Bonding），而這又需要一體化光刻技術（holistic lithography）。我認爲，三維整合將成爲二維收縮日益重要的補充技術或技術組合。”