艾司摩爾與imec簽署策略夥伴協議 支援歐洲半導體研究與創新

ASML執行長Christophe Fouquet（右）與imec執行長Luc Van den hov簽署策略夥伴協議， 支援歐洲半導體研究與永續 創新。圖／imec提供

艾司摩爾（ASML）與比利時微電子研究中心（imec）宣佈，雙方已經簽署一項新的策略夥伴協議，聚焦研究與永續發展。

該協議年限五年，目標是透過集結ASML和imec各自的知識和專業，在兩大領域提供有價值的解決方案。首先，開發推進半導體產業的解決方案；其次，開發聚焦永續創新的研究倡議。

這項合作結合ASML完整的產品組合，尤其是開發高階技術節點，採用包含0.55 NA和0.33NA 極紫外光（EUV）、浸潤式深紫外光（DUV）、YieldStar光學量測設備以及HMI單光束與多光束檢測技術。這些工具未來將安裝在imec最先進的試驗製程，並整合到由歐盟及法蘭德斯政府資助的奈米晶片試驗製程，爲全球半導體生態系提供用來研發2奈米以下技術的頂尖基礎設備。研發的焦點領域將會包含矽光子、記憶體與先進封裝，在多元化市場爲未來基於半導體的人工智慧（AI）應用提供完整的堆疊創新。

此次合作的新領域包含爲imec研究流程中的創新發想與活動挹注可觀資助，這些創新帶來環境與社會效益。

ASML在這項合作的投資還有由晶片聯合承諾（Chips Joint Undertaking）和法蘭德斯政府（爲了實現歐盟《歐洲晶片法案》奈米晶片試驗製程）以及荷蘭政府（作爲一項歐洲共同利益重要項目，簡稱IPCEI）所提供的經費補助。

奈米晶片試驗製程的採購及營運由晶片聯合承諾（Chips Joint Undertaking）經由歐盟數位歐洲計劃（Digital Europe）和歐洲展望計劃（Horizon Europe），以及比利時（法蘭德斯）、法國、德國、芬蘭、愛爾蘭和羅馬尼亞這些成員國共同資助。